一種圓片級發光二極管芯片檢測方法、檢測裝置及其透明探針卡。

此檢測方法包括：提供一透明探針卡，且透明探針卡覆蓋於圓片的上方，並以透明探針卡的接點電性連接LED芯片的測試墊，以對LED芯片進行一點亮測試。當LED芯片發光後，對LED芯片的光信號進行一成像處理，以形成一影像於一感測元件上。擷取影像，並將影像的信號轉換成對應於各個LED芯片的一光場信息及一位置信息。根據LED芯片的光場信息，得到LED芯片的光譜及發光強度。根據LED芯片的光譜及發光強度，以對LED芯片進行分類。本發明還揭露一種應用上述檢測方法的圓片級LED發光二極管芯片檢測裝置及透明探針卡。

上述的檢測方法、檢測裝置及其透明探針卡，具有提高檢測速度及快速分類的優點。